重現(xiàn)性 | <0.002MM | 外形尺寸(L×W×H) | 541×460×705mm |
解析力標(biāo)準(zhǔn) | 0.4um | 臺(tái)面大小 | 460×313mm |
位移驅(qū)動(dòng) | 0.1um | 機(jī)臺(tái)重量 | 80kg |
線性精度 | ±(2+L/150) um | 放大倍數(shù) | 15X-100X |
精度 | ±2um | 臺(tái)面荷重 | 36kg |
X行程 | 200mm | 測(cè)量速度 | 500mm/min |
Y行程 | 100mm | CCD | SONY高清晰 |
特點(diǎn)• 分辨率/重復(fù)精度為0.1/0.5μm 時(shí),精度可高達(dá)(1.3+0.6L/600)μm。• 確保垂直度(部) 達(dá)6μm,直線度達(dá)4μm。• 全/半空氣浮動(dòng)系統(tǒng)可調(diào)節(jié)氣墊。• 帶有基本統(tǒng)計(jì)功能, 另外,通過(guò)RS-232C數(shù)據(jù)輸出與帶有SPC 軟件的電腦相連,可實(shí)現(xiàn)外部測(cè)量數(shù)據(jù)評(píng)估。• 半自動(dòng)測(cè)量時(shí)具有單鍵操作功能。• 通過(guò)Digimatic 工具實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)輸入。• 可選擇多種信息語(yǔ)言包括英語(yǔ)、德語(yǔ)、法語(yǔ)、西班牙語(yǔ)、意大利語(yǔ)、荷蘭語(yǔ)、葡萄牙語(yǔ)、瑞典語(yǔ)、捷克語(yǔ)、匈牙利語(yǔ)、斯諾文尼亞語(yǔ)、波蘭語(yǔ)、繁體中文*、朝鮮語(yǔ)** 和日語(yǔ)。* 可選 ** 518-331K 和518-322K 型
技術(shù)參數(shù)測(cè)量范圍: 0 - 972mm滑桿行程: 600mm分辨率(可切換): 0.0001 / 0.001 / 0.01 / 0.1mm 或0.0001/0.001 / 0.01 / 0.1mm /.000001" / .00001"/.0001" / .001"20oC 時(shí)精度: (1.1+0.6L/600) μmL 大測(cè)量長(zhǎng)度(mm)重復(fù)精度 (2σ): 平面: 0.4μm,孔: 0.9μm垂直度*: 5μm直線度**: 4μm驅(qū)動(dòng)方式: 手動(dòng)/電動(dòng) (5 - 40mm/s, 7 )測(cè)力: 1N平衡方式: 配重浮動(dòng)方式: 帶有內(nèi)置空氣壓縮機(jī)的全/半浮動(dòng)顯示: 圖形液晶顯示(320X240 點(diǎn),帶有背光照明)顯示語(yǔ)言: 英語(yǔ)/德語(yǔ)/法語(yǔ)/西班牙語(yǔ)/意大利語(yǔ)/荷蘭語(yǔ)/葡萄牙語(yǔ)/瑞典語(yǔ)/捷克語(yǔ)/匈牙利語(yǔ)/斯諾文尼亞語(yǔ)/波蘭語(yǔ)/繁體中文(可選)/朝鮮語(yǔ)/日語(yǔ)可存儲(chǔ)程序: 可達(dá)50 個(gè)測(cè)量程序可存儲(chǔ)數(shù)據(jù): 可達(dá)60,000 個(gè)測(cè)量數(shù)電源: AC 適配器/電池 (Ni-MH)電池操作時(shí)間: 大約5 小時(shí)(空氣浮動(dòng)和滑塊提升: 25%)* 使用標(biāo)準(zhǔn)ø5 偏心測(cè)頭** 使用杠桿測(cè)頭(MLH-321) 或Mu-Checker (M-411)、
選件12AAC072: 深度測(cè)頭12AAC073: ø20mm 錐形測(cè)頭12AAA787: 測(cè)頭直徑校正量塊(用于錐形測(cè)頭)12AAA792: 千分表(ø8mm 軸套) 夾頭12AAA837: 千分表(ø3/8" 軸套) 夾頭12AAA793: 測(cè)頭延長(zhǎng)夾(85mm/3.3")12AAB136: ø10mm 圓柱型測(cè)頭932261: Mu-Checker 杠桿測(cè)頭夾頭12AAF666: ø1mm 球型測(cè)頭12AAF667: ø2mm 橄欖球型測(cè)頭957261: ø2mm 球型測(cè)頭957262: ø3mm 球型測(cè)頭957263: ø4mm 球型測(cè)頭12AAB552: ø10mm 球型測(cè)頭,L=55mm12AAF668: ø10mm 球型測(cè)頭,L=82mm12AAF669: ø10mm 球型測(cè)頭,L=120mm12AAF670: ø5mm 盤(pán)型測(cè)頭12AAF671: ø10mm 盤(pán)型測(cè)頭957264: ø14mm 盤(pán)型測(cè)頭957265: ø20mm 盤(pán)型測(cè)頭12AAF672: ø1mm 球型偏心測(cè)頭12AAF673: ø2mm 球型偏心測(cè)頭12AAA788: ø4mm 球型偏心測(cè)頭12AAA789: ø6mm 球型偏心測(cè)頭226116: 杠桿千分表適配器(ø6mm 軸套)226117: M2 CMM 探針適配器226118: M3 CMM 探針適配器———: 可提供CMM 球型和盤(pán)型硬質(zhì)測(cè)頭12AAF712: 電池包12AAF675: 大電容電池包12AAG245: 大電容電池包12AAA796: 熱敏打印機(jī)(220V)12AAA797: 熱敏打印機(jī)(120V)12AAA802: 熱敏打印紙(10 張)12AAA804: 頁(yè)式打印機(jī)電纜**(2m)12AAA805: 頁(yè)式打印機(jī)電纜**(4m)12AAH035: USB-FDD 裝置12AAA807: RS-232C 電纜(2m/80")12AAG920: RS-232C 電纜(3m/118")