SJ6000采用高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補償模塊、 幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù),實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù),實現(xiàn)快速(5~10 分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合,得到不同的干涉信號,然后通過高精度激光 干涉信號處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù),將數(shù)據(jù)通過計算機進行顯示和動態(tài)分析。
使用時,操作者先按照設(shè)計的幾何光路安裝相配合的鏡組,幾何光路是以邁克爾遜型激光干涉儀原理為基礎(chǔ)設(shè)計的,下圖是邁克爾遜干涉儀的基本原理圖:
邁克爾遜干涉儀的原理是一束入射光分為兩束后各自被對應(yīng)的平面鏡反射回來,這兩束光從而能 夠發(fā)生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過調(diào)整干涉臂長度以及改變介質(zhì)的折射率來實現(xiàn),從而形成不同的干涉圖樣。干涉條紋是等光程差點的軌跡,因此,要 分析某種干涉產(chǎn)生的圖樣,必求出相干光的光程差位置分布函數(shù)。
搭建好幾何光路后,在檢定軟件上設(shè)定測量的開始、結(jié)束位置,點擊“開始”按鈕,軟件界面會實時顯示測量所得動態(tài)數(shù)據(jù);掃描結(jié)束后,操作者可通過對測量所得 數(shù)據(jù)曲線進行分析,得到如長度、角度、直線度、垂直度、平面度等參數(shù)。并根據(jù)系統(tǒng)內(nèi)置的檢測標(biāo)準(zhǔn)對被測件的各項參數(shù)進行合格判定,檢測結(jié)束后自動生成檢定 結(jié)果。
二、特點優(yōu)勢 三、技術(shù)參數(shù)1 | 線性測長距離 | 40m |
2 | 線性測長精度 | ±(0.02+0.5L)um |
3 | 激光穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
4 | 分辨率 | 0.001um |
5 | *大測量速度 | 4.0m/S |
6 | 動態(tài)采集頻率 | 50KHZ |
7 | 預(yù)熱時間 | 5~10分鐘 |
8 | 環(huán)境補償精度 | 空氣壓力:±1.0mBar, 空氣濕度:±6%, 材料溫度:±0.1℃ |
9 | 基本重量(含三腳架,包裝) | 15Kg |
實驗內(nèi)容:
1、調(diào)整兩個反射鏡之間的相對位置,使之平行,形成F-P干涉儀。
2、觀察激光在F-P干涉儀中的多光束干涉現(xiàn)象,了解F-P干涉儀的工作原理和理論。
3、改變腔長,測量計算干涉儀的特征參數(shù)。用壓電陶瓷微調(diào)兩個反射鏡的間距,觀察其對透射光波長的掃描特性,了解F-P掃描干涉儀的工作原理。觀察激光器的頻率特性,測量激光器的特征參數(shù)。
光學(xué)精密機械 >> 干涉儀 >> 曲率半徑測量干涉儀︱干涉儀 | ||||||||||||||||||
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產(chǎn) 品 說 明 | ||||||||||||||||||
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產(chǎn)品 >> 光學(xué)精密機械 >> 干涉儀 | 共有 18 個產(chǎn)品 | |
產(chǎn)品簡介 |
隨著精密機械零件的要求在繼續(xù)增加,Agilent 5529A動態(tài)校準(zhǔn)系統(tǒng)能幫助機床用戶獲得成功。Agilent 5529A為機床制造商和用戶提供測量機床定位和精度的基本部件;用經(jīng)補償?shù)臄?shù)據(jù)校準(zhǔn)機床的定位誤差;診斷幾何形狀問題;以及符合7種國際標(biāo)準(zhǔn)的機床性能文檔。 您可用Agilent 5529A選擇全套校準(zhǔn)部件,包括激光源、校準(zhǔn)器和材料補償板、材料和空氣傳感器、光纖套件、電纜和附件。您也可選擇3種預(yù)配置系統(tǒng)(不包括光纖)。 Agilent 5529B基本系統(tǒng):包括激光源、校準(zhǔn)器和材料補償板、材料和空氣傳感器、電纜和附件。 Agilent 5529V Vectra系統(tǒng):包括校準(zhǔn)器和材料補償板、HP Vectra PC和super VGA顯示。 Agilent 5529U升級系統(tǒng):包括校準(zhǔn)器和材料補償板、適配器電纜,您能從Agilent 5528A升級到Agilent 5529A。 |
特性: |
l 專利Agilent激光管設(shè)計,性MTBF大于 50,000 小時 l 用戶友好的Windows軟件 l 文檔使用8種語言:英語、法語、德語、意大利語、日語、西班牙語,以及簡體和繁體漢語 l 符合7種國際標(biāo)準(zhǔn): NMTBA, BDI/DGQ 3441, ANSI B5.54, BSI 3800, ESO 230-2, JIS, 和 GB 10931-89 l 在線幫助 如果需要詳細(xì)的資料請發(fā)Email:xie_feng79@163.com |
產(chǎn)品功能 定位精度、重復(fù)定位精度、位移距離測量、速度加速度測量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動角、角速度、圓形軌跡、微振動測量,還能夠測量數(shù)控機床回轉(zhuǎn)臺的定位精度和重復(fù)定位精度等,從而實現(xiàn)定位、校準(zhǔn)、控制和補償。ZLM700主要用于單軸系統(tǒng)的校準(zhǔn)和測量,廣泛應(yīng)用于高速動態(tài)加工工藝中的機械定位和系統(tǒng)控制。性能優(yōu)勢
技術(shù)參數(shù)
型號:ZLM700 | 使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950 PCI |
He-Ne激光平均波長: | 632.8 nm |
激光穩(wěn)頻精度: | 一小時2x10-9(±0.002ppm) 壽命內(nèi)2x10-8(±0.02ppm) |
系統(tǒng)精度(0-40℃時): | ±0.4ppm |
光束直徑: | 6mm (可選3.2mm) |
激光管突發(fā)最大輸出功率: | 1mW (激光等級2) |
每束光可測量的軸數(shù): | 1 |
線性測量距離: | 40m,可擴展為120m |
角度測量范圍: | ± 15°,20m軸線范圍 |
平面度測量范圍: | 20m行程 |
直線度測量范圍: | ± 5mm,2m或10m行程, 選用角度干涉儀可測30m行程 |
垂直度測量范圍: | ± 5mm,2m或10m行程, 30m行程需用角度干涉儀 |
最大速度: | 4m/s,可選16m/s 80rad/s,角速度 |
最大加速: | 無限制 |
采樣頻率: | 內(nèi)部1MHz,外部40MHz |
預(yù)熱時間: | 10分鐘 |
精度/非線性: | ±0.3nm (角隅反射鏡) ±0.1nm (平面反射鏡) |
距離測量分辨率: | 0.6nm (角隅反射鏡) 0.3nm (平面反射鏡) 0.1nm 可選 |
距離測量精度: (20°±0.5°) 使用AUK時 (20°±0.5°) 真空中時 | ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) |
線性度測量分辨率: | 0.6nm (角隅反射鏡) 0.3nm (平面反射鏡) 0.1nm 可選 |
線性度測量精度: (20°±0.5°) 使用AUK時 (20°±0.5°) 真空中時 | ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) |
速度測量精度: | ±0.5ppm實測值 |
角度測量分辨率: | 0.015μrad (3x10-3 弧秒) |
角度測量精度: | ±0.1ppm實測值 |
平面度測量分辨率: | 0.015μrad (3x10-3 弧秒) |
平面度測量精度: | ±0.2%實測值 ±0.05 弧度/米運行距離 |
直線度測量分辨率: | 36nm,10m行程 7.25nm,2m行程 |
直線度測量精度: | ±0.5%實測值,2m行程 ± 2.5%實測值,10m行程 |
垂直度測量分辨率: | 36nm,10m行程 7.25nm,2m行程 |
垂直度測量精度: | ±0.5%實測值2m,± 0.5弧秒* ±2.5%實測值10m,± 0.5弧秒* |
數(shù)據(jù)接口: | 積分信號 32 Bit (實時時間) Dt » 20 ns |
數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn): | ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA |
工作環(huán)境: | 溫度:15°C-30°C 濕度:<90%無冷凝 |
儲存環(huán)境: | 溫度:10°C-40°C 濕度:<95%無冷凝 |
應(yīng)用光路圖
以上為直線度測量示意圖,包括水平方向直線度和垂直方向直線度
以上是平面度測量示意圖
以上是垂直度測量示意圖
以上是位移、線性度、速度、加速度、定位精度測量示意圖
以上是對角測量示意圖
以上是俯仰角測量示意圖
以上是偏擺角測量示意圖
以上是滾動角測量示意圖
以上是回轉(zhuǎn)臺定位精度測量示意圖
資料下載耶拿爾雙頻激光干涉儀樣本(中文).pdf激光干涉儀說明書(中文).pdf
高分辨測量可達(dá)至120MHz用戶可選的頻率范圍容易操作的軟件可按照客戶要求訂制 技術(shù)參數(shù):測量頻率范圍1):10~100 cm-1(30GHz~3THz)光譜自由程:0.8~20 cm-1分辨率2):4 x 10-3 cm-1金屬柵格間隔距離:0~12 mm(或根據(jù)客戶要求選擇)間隔距離精度:+ / - 5 um光束高度: 100 mm有效通光孔徑: 20 mm(或根據(jù)客戶要求選擇)尺寸: 160 (L) x 120 (W) x 130 (H) mm3重量:2.5 kg 1: 用戶選擇范圍:10~30cm-1 或者 30~100cm-1
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