Z5FM-200OMRON/歐姆龍 膜厚測量儀
Z5FM-200
| 在線膜測量儀 | |
| ? 在線•全數檢查/計測的提案。 ? 實現在線計測的獨特的光學系數。 ? 采用LED光源，減輕維修負擔。 ? 根據設置條件可選擇光纖頭。 ? 配置“膜厚計測”、“膜厚+光學常數（屈折率，吸收系數）同時計測”2種計測方法。 ? 通過易懂的GUI，使操作更簡單。 ? 在線計測中必不可少的觸發模式的充實。 ? 與裝置•工程、CIM想配合的接口。 |
VT6000系列共聚焦顯微鏡
產品簡介VT6000系列共聚焦顯微鏡以共聚焦技術為原理，以轉盤共聚焦光學系統為基礎，結合高穩定性結構設計和3D重建算法，共同組成測量系統。是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米測量的檢測儀器。它通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量。
產品用途VT6000系列共聚焦顯微鏡可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等域中。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。產品功能(1)設備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；
(2)設備具備自動拼接功能，能夠快速實現大區域的拼接縫合測量；
(3)設備具備一體化操作的測量與分析軟件，預先設置好配置參數再進行測量，軟件自動統計測量數據并提供數據報表導出功能，即可快速實現批量測量功能；
(4)設備具備調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能；
(5)設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
(6)設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實現批量數據文件的快速分析功能；
應用域VT6000系列共聚焦顯微鏡可對各種產品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。功能特點1、測量模式多樣
單區域、多區域、拼接、自動測量等多種測量模式可選擇，適應多種現場應用環境；
2、雙重防撞保護功能
Z軸上裝有防撞機械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護功能，雙重保護；
3、分析功能豐富
3D：表面粗糙度、平整度、孔洞體積、幾何曲面、紋理方向、PSD等分析；
2D：剖面粗糙度、幾何輪廓測量、頻率、孔洞體積、Abbott參數等分析。
應用場景
1、鐳射槽
測量晶圓上激光鐳射槽的深度：半導體后道制造中，在將晶圓分割成一片片的小芯片，需要對晶圓進行橫縱方向的切割，為確保減少切割引發的崩邊損失，會先采用激光切割機在晶圓表面燒蝕出U型或W型的引導槽，在工藝上需要對引導槽的槽型深寬尺寸進行檢測。
2、光伏
在太陽能電池制作工程中，柵線的高寬比決定了電池板的遮光損耗及導電能力，直接影響著太陽能電池的性能。共聚焦顯微鏡可以對柵線進行快速檢測。此外，太陽能電池制作過程中，制絨作為關鍵核心工藝，金字塔結構的質量影像減反射焰光效果，是光電轉換效率的重要決定因素。共聚焦顯微鏡具有納米別的縱向分辨能力，能夠對電池板絨面這種表面反射率低且形貌復雜的樣品進行三維形貌重建。
3、其他
公司介紹Shenzhen Zhongtu Instrument Co., Ltd. was established in 2005 ａnd is committed to the research ａnd development, production, ａnd sales of full size chain precision measuring instruments ａnd equipment.
Zhongtu Instrument adheres to technological innovation as the foundation of development, ａnd has a technical team that integrates optical, mechanical, electrical, ａnd information technology. After 20 years of technological accumulation ａnd development practice, it has developed basic measuring instruments, conventional size optical measuring instruments, micro size optical measuring instruments, large size optical measuring instruments, conventional size contact measuring instruments, ａnd micro size contact measuring instruments Industry application testing equipment ａnd other full size chain precision instruments ａnd equipment can provide customers with precision measurement solutions from nanometers to hundreds of meters.
