北京GH/AC-P6衛生型壓力變送器使用方法
衛生型壓力變送器 平面膜壓力變送器
型號：GH/AC-P6
一：北京GH/AC-P6衛生型壓力變送器使用方法用途
AC-P6衛生型卡箍式平膜壓力變送器廣泛應用于制藥，食品，飲料等對衛生級有要求的壓力、液位的測量，以及被測介質為小顆粒，粘稠，易堵塞，易固化的小量程壓力測量和傳輸
二：北京GH/AC-P6衛生型壓力變送器使用方法概述
AC-P6系列平面膜結構壓力變送器采用平面膜直接感受壓力。傳感器接口有卡箍式，M27×2，法蘭式可供選擇。輸出信號有電壓、電流、頻率信號等可選擇，傳感器平膜片防止了結垢，不衛生及粘稠液體堵塞等問題。
三：北京GH/AC-P6衛生型壓力變送器使用方法特點
1、無進壓孔、無腔平面結構
2、多種信號輸出形式、電壓、電流、頻率信號等
3、高精度、高強度
4、衛生型、防結垢
5、高溫漂、高零漂信能
四：性能參數
1、供電電源：24VDC
2、輸出信號：4～20mA、1～5V、0～10mA、0～20mA、0～5V、1～10kHz
3、量程范圍：0～100kPa…35Mpa
4、補償溫度：0～70℃
5、介質溫度：-40～125℃
6、環境溫度：-40～85℃
7、材 質：全不銹鋼結構
8、工作方式：表壓、絕壓、密封壓
9、綜合精度：0.1、0.3、0.5級可選
10、絕緣電阻：100MΩ/100VDC
11、零點溫度漂移：±0.03%FS/℃
12、靈敏度溫度漂移：±0.03%FS/℃
13、過載壓力：200%FS
14、長期穩定性：≤0.2%FS/年
凱里衛生型壓力變送器 衛生型壓力變送器24VDC哪家好
衛生平膜型壓力變送器，結構緊湊、耐腐蝕，抗震動、抗微粒沖擊、寬范圍溫度補償。全部采用316L不銹鋼材料，特別適用于醫療、食品行業有衛生要求的，粘稠流體壓力和液位測量，解決了結垢，堵塞，清潔衛生等問題。被測介質： 對316L不銹鋼不腐蝕的氣體和液體壓力類型： 絕對壓力、密封參考壓力、通氣表壓力量程： -100～0～10～500kPa～1～25MPa之間任意可選供電電源： 24VDC（10-32VDC）輸出信號： 兩線制4-20mA電流環、3線0-20mA、 1-5VDC、0-5VDC、0-10VDC可選擇頻率響應： 0～1KHz非線性： 0.05%重復性： 0.05%
(衛生型)壓力變送器是我公司研發的高性能壓力變送器之一采用國際先進的壓力傳感器技術配合高精度電子元件采用微處理器放大電路經嚴格的工藝過程裝配而成零點、量程可遷移，性能優異，抗沖擊能力強、穩定性好，測量精度高。1、(衛生型)壓力變送器具有多種結構材料、多種型號、多種量程和多種連接形式，可廣泛用于石油、化工、電力、冶金、制藥、食品等行業，是傳統壓力表和壓力變送器的理想升級換代產品，是工業自動化行業的理想壓力測量儀表。2、特點 激光調阻溫度補償 零位可遷移 零位、量程可調節 高精度、高可靠性、高穩定性 抗射頻干擾 電源反極性及過電壓保護 隔離防腐，本安防爆 直接過程安裝，現場指針或數字顯示。3、技術性能 精度： 智能：&plun;0.1級&plun;0.2級 模擬：&plun;0.2級&plun;0.5級 遠傳：&plun;0.25級&plun;0.5級 液位：&plun;0.25級&plun;0.5級 工作電壓 12V～ 36V DC 輸出信號 4mA～20mA DC (二線制) 工作方式： 表壓、絕壓 被測介質： 與316不銹鋼兼容液體、氣體、蒸氣 測量范圍 相對壓力 擴散硅陶瓷壓阻 -0.1～0.1MPa、0～60MPa陶瓷電容 -2.5～2.5KPa、 0～7MPa絕對壓力擴散硅陶瓷壓阻 0～60MPa 陶瓷電容 0～7MPa
DF-9500C毒氣探測器其核心部件—為英國原裝進口，計用于檢測不同量程的多種毒氣。因此，用戶可以根據自己的具體要求選用。該產品采用電化學，其選擇性能強，長期穩定性好，響應時間短。毒氣探測器的期望壽命通才為2年，建議18個月以后酌情更換以保證使用可靠性。另外，它的零件校準及標定操作全部可在安裝現場進行，只需一個人即可完成，非常方便。DF-9500C為本安型，可選擇帶顯示和不帶顯示。為了保護人員、環境及工廠設備的安全，該探測器可安裝在現場對毒氣或氧氣進行連續檢測。該監測器使用極為靈活，既可單獨使用，亦可與控制報警器配合系統使用，性能可靠，體積小，壽命長，安裝簡便，適用于對氧氣及多種毒氣的檢測，如：H2S，CO，SO2，NH3，CL2等（在TLV范圍）。其典型的應用場所，化工，氣體存儲、加工、污水處理廠，廢物處理場、金屬工業、發電廠等任何可能產生上述毒氣場所。主要性能及特點采用LCD現場顯示氣體濃度探測器采用兩線制連接，可降低安裝費用。儀表工作穩定可靠防爆等級：Exib IICT5(本安)零點及靈敏度調節可在變送器不開蓋的情況下進行標定、維護可單入操作，并具有報警鎖定鍵對檢測氣體有高度選擇性范圍0-（ppm）響應時間（T90）O225VOL%約40秒CO1000約60秒H2S50，200約60秒NH3100約120秒CL220約120秒SO220，100約120秒HCL100約120秒檢測原理電化學精確度+-2%F.S靈敏度漂移+-2%F.S/月防爆等級和防護等級本安型Exib IICT6;IP65外形尺寸155*120*90（mm）重量約1kg允許工作溫度-15度~+40度（因探測器種類不同而不同）連接線纜
電容式壓力變送器用于測量液體、氣體或蒸汽的液位、密度和壓力，然后轉變成4～20mA DC信號輸出。HC1151/3351GP智能型壓力變送器可與HART手操器相互通訊，通過它進行設定，監控或與上位機組成現場監控系統。HC1151/3351GP現場調整式智能壓力變送器是本公司根據現場要求研制開發的新產品，可脫離手操器，通過按鍵方式實現現場調零、組態等操作。1.性能規格（零基準校驗范圍，參考條件下，硅油充液，316 L不銹鋼隔離膜片。）1.1. 參考精度1.1.1. 數字、智能：&plun;0.1%校驗量程1.1.2. 模擬、線性：&plun;0.2%校驗量程1.2. 穩定性1.2.1. 數字、智能：6個月，&plun;0.1%URL1.2.2. 模擬、線性：6個月，&plun;0.2%URL1.3. 環境溫度影響1.3.1.數字、智能：零點誤差：&plun;0.2%URL/56℃總體誤差：&plun;(0.2%URL+0.18%校驗量程）/56℃1.3.2.模擬、線性零點誤差：&plun;0.5%URL/56℃總體誤差：&plun;(0.5%URL+0.5%校驗量程）/56℃1.4. 振動影響在任意軸向上，200Hz下振動影響為&plun;0.05%URL/g1.5. 電源影響小于&plun;0.005%輸出量程/伏特。1.6. 負載影響：沒有負載影響，除非電源電壓有變化。1.7. 電磁干擾/射頻干擾（EMI/RFI影響）由20至1000MHz，場強達至30V/M時，輸出漂移小于&plun;0.1%量程。1.8. 安裝位置影響零點漂移至多為&plun;0.25kPa。所有的零點漂移都可修正掉；對量程無影響。2. 功能規格2.1. 測量范圍：0-0.125-41370KPa2.2. 零點與量程2.2.1. 數字、智能可用本機量程和零點按鈕調整，或用HART手操器遠程調整2.2.2. 模擬、線性量程和零點連續可調2.3. 零點正、負遷移零點負遷移時，量程下限必須大于或等于-URL；零點正遷移時，量程上限必須小于或等于+URL。校驗量程必須大于或等于最小量程。2.4. 輸出數字、智能：4～20mA DC，用戶可選擇線性或平方根輸出。數字過程變量疊加在4～20mA 信號上，可供采用HART協議的上位機使用模擬、線性：4～20mA DC,與過程壓力成線性。◆選型方式HC1151/3351GP壓力變送器代碼量程范圍KPa20-0.125～1.530-1.3～7.540-6.2～37.450-31.1～186.860-117～69070-345～206880-1170～689090-3450～2068000-6890～41370代碼輸出E4-20mAS智能式代號結構材料法蘭和接頭排氣/排液閥隔離膜片灌充液體22316不銹鋼316不銹鋼316不銹鋼硅油23316不銹鋼316不銹鋼哈氏合金C24316不銹鋼316不銹鋼蒙乃爾25316不銹鋼316不銹鋼鉭33哈氏合金C哈氏合金C哈氏合金C35哈氏合金C哈氏合金C鉭44蒙乃爾蒙乃爾蒙乃爾代號選項M10-100%線性指示表M2LED顯示表M3LCD顯示表B1管裝彎支架B2板裝彎支架B3管裝平支架D1側面泄放閥在壓力室上部D2側面泄放閥在壓力室下部不注1/2NPT錐管螺紋接頭C2丁字形螺紋接頭M20×1.5，帶后部Ф14引壓管的球錐連接頭d隔爆型dⅡBT4i本安型iaⅡCT6s不銹鋼三閥組
Midas®用于半導體行業，對該行業過程中的氣體泄漏做出快速且可靠的反應。Midas®具有更長傳感器校準周期、靈活的通信方式以及獲得專利的診斷功能，流量控制特點，這些特點降低了儀器使用成本并提高了儀器的使用效能。 Midas®是一個通用的變送器平臺，能夠探測出大多數的必須在Fab中監測的毒氣、周圍環境的氣體和易燃的氣體。預校準的“即插即用”智能傳感器使傳感器的更換不需要工具并且快速便捷，從而防止了操作員工因使用不正確的或已耗盡的傳感器造成的誤差。明亮的發光二極管燈與直觀的使用圖標的人機交互式菜單與受到密碼保護的配置、測試及校準菜單配套使用使對氣體的讀取或警報級別的緊急警戒有了保證。 Midas®的外觀大小非常小巧，它容易進入的金屬外殼設計使得它在擁擠的、越來越多的復雜工藝環境或翻新應用那種要求空間最佳的安裝變得簡單。Midas®有標配的內置靈活的供電及通信，包括3個內置繼電器、0-22mA模擬輸出、Modbus / TCP以太網數字輸出以及具有創新性的以太網供電（PoE）協議——一個的以太網連接實現所有的供電、控制及通信要求。有了Midas®結構，與PLC及FieldBus系統的低成本整合得到了大大的簡化。 Midas®能夠對在變送器30米（100英尺）以外的點進行監測，并且運用專利控制技術對流量進行自動調節，使傳感器能夠無誤差工作。Honeywell Analytics設計和的先進的自動化線以確保傳感器卓越的質量與可靠性。 Midas®作為革新性的極高的靈敏度低ppb毒氣探測分析儀的Chemcassette的補充產品得到我們全球24/7(每天24小時)服務工程師網絡的支持。特色超過35種可用的氣體，帶兩年的延期質保*（*標準質保為一年）智能的傳感器暗盒腔，帶有內置式“電子校準”證書3個內置繼電器（格式C），用于警報1、2及故障。通過以太網的供電（PoE）通信和供電平臺鍵盤接口及遠程網絡瀏覽器接口熱解器及模擬輸入模塊，可以連接到任何一個變送器密碼保護菜單級別，可以保護系統的完整明亮的LED及直觀的圖標，大型背光式LCD屏幕廠家校準的傳感器減少了頻繁氣體測試的需要絕緣的0-22 mA模擬輸出，帶有故障及事件報告Modbus/TCP以太網，很容易就能夠連接所有控制和警報系統端口，以便進行控制連接和互動式維修采樣泵系統（2年的壽命）取樣距離能達到30m。交互式的培訓模擬器工具有CE的標志，能夠完全免除射頻干擾傳感器自我狀態檢查，用于增進安全TempraSure溫度補償技術（視情形而定）事件日志，可以檢查傳感器歷史紀錄獲得專利的報告技術，確保可能泄漏的氣體以避免誤報警氣體名稱化學式范圍氨NH30-100PPM氫化AsH30-0.2PPM三化硼BCL30-8.0PPM三化硼BF30-8.0PPM三化硼（低濃度的）BF30-2.0PPM溴Br20-0.4PPM二氧化碳CO20-2.0%VOL一氧化碳CO0-100PPMCL20-2.0PPM二氧化CLO20-0.4PPM三化CLF30-0.4PPMB2H60-0.4PPM二甲硅烷H2SICL20-8.0PPM二甲烷CH2F20-120PPM乙硅烷SI2H60-20PPMF20-4.0PPM鍺烷GeH40-0.8PPM六丁二烯F60-40PPM氫（下限）H20-100%LEL氫PPMH20-1000PPM溴化氫HBr0-8.0PPM化氫HCL0-8.0PPM化氫HCN0-20PPM化氫HF0-12PPM化氫（低濃度）HF0-2.0PPM硫化氫H2S0-40PPM硫化氫（高濃度）H2S0-100PPM甲烷（下限）CH40-100%LEL甲基CH3F0-60PPMNO20-12PPM一氧化氮NO0-100PPM三化氮NF30-40PPM八環戊烯C5F80-40PPM氧氣能力&缺氧O20-25%臭氧O30-0.4PPM化氫PH30-1.2PPM氫氧化POCL30-0.4PPM硅烷SIH40-20PPM硅烷（低濃度的）SIH40-2.0PPM二氧化硫SO20-8.0PPM六化硫SF60-8000PPM四化硫SF40-0.4PPM正硅酸乙酯TEOS0-40PPM六化鎢WF60-12PPM六化鎢（低濃度的）WF60-2.0PPM
(衛生型)壓力變送器是我公司研發的高性能壓力變送器之一采用國際先進的壓力傳感器技術配合高精度電子元件采用微處理器放大電路經嚴格的工藝過程裝配而成零點、量程可遷移，性能優異，抗沖擊能力強、穩定性好，測量精度高。1、(衛生型)壓力變送器具有多種結構材料、多種型號、多種量程和多種連接形式，可廣泛用于石油、化工、電力、冶金、制藥、食品等行業，是傳統壓力表和壓力變送器的理想升級換代產品，是工業自動化行業的理想壓力測量儀表。2、特點 激光調阻溫度補償 零位可遷移 零位、量程可調節 高精度、高可靠性、高穩定性 抗射頻干擾 電源反極性及過電壓保護 隔離防腐，本安防爆 直接過程安裝，現場指針或數字顯示。3、技術性能 精度： 智能：&plun;0.1級&plun;0.2級 模擬：&plun;0.2級&plun;0.5級 遠傳：&plun;0.25級&plun;0.5級 液位：&plun;0.25級&plun;0.5級 工作電壓 12V～ 36V DC 輸出信號 4mA～20mA DC (二線制) 工作方式： 表壓、絕壓 被測介質： 與316不銹鋼兼容液體、氣體、蒸氣 測量范圍 相對壓力 擴散硅陶瓷壓阻 -0.1～0.1MPa、0～60MPa陶瓷電容 -2.5～2.5KPa、 0～7MPa絕對壓力擴散硅陶瓷壓阻 0～60MPa 陶瓷電容 0～7MPaDF-9500C毒氣探測器其核心部件—為英國原裝進口，計用于檢測不同量程的多種毒氣。因此，用戶可以根據自己的具體要求選用。該產品采用電化學，其選擇性能強，長期穩定性好，響應時間短。毒氣探測器的期望壽命通才為2年，建議18個月以后酌情更換以保證使用可靠性。另外，它的零件校準及標定操作全部可在安裝現場進行，只需一個人即可完成，非常方便。DF-9500C為本安型，可選擇帶顯示和不帶顯示。為了保護人員、環境及工廠設備的安全，該探測器可安裝在現場對毒氣或氧氣進行連續檢測。該監測器使用極為靈活，既可單獨使用，亦可與控制報警器配合系統使用，性能可靠，體積小，壽命長，安裝簡便，適用于對氧氣及多種毒氣的檢測，如：H2S，CO，SO2，NH3，CL2等（在TLV范圍）。其典型的應用場所，化工，氣體存儲、加工、污水處理廠，廢物處理場、金屬工業、發電廠等任何可能產生上述毒氣場所。主要性能及特點采用LCD現場顯示氣體濃度探測器采用兩線制連接，可降低安裝費用。儀表工作穩定可靠防爆等級：Exib IICT5(本安)零點及靈敏度調節可在變送器不開蓋的情況下進行標定、維護可單入操作，并具有報警鎖定鍵對檢測氣體有高度選擇性范圍0-（ppm）響應時間（T90）O225VOL%約40秒CO1000約60秒H2S50，200約60秒NH3100約120秒CL220約120秒SO220，100約120秒HCL100約120秒檢測原理電化學精確度+-2%F.S靈敏度漂移+-2%F.S/月防爆等級和防護等級本安型Exib IICT6;IP65外形尺寸155*120*90（mm）重量約1kg允許工作溫度-15度~+40度（因探測器種類不同而不同）連接線纜電容式壓力變送器用于測量液體、氣體或蒸汽的液位、密度和壓力，然后轉變成4～20mA DC信號輸出。HC1151/3351GP智能型壓力變送器可與HART手操器相互通訊，通過它進行設定，監控或與上位機組成現場監控系統。HC1151/3351GP現場調整式智能壓力變送器是本公司根據現場要求研制開發的新產品，可脫離手操器，通過按鍵方式實現現場調零、組態等操作。1.性能規格（零基準校驗范圍，參考條件下，硅油充液，316 L不銹鋼隔離膜片。）1.1. 參考精度1.1.1. 數字、智能：&plun;0.1%校驗量程1.1.2. 模擬、線性：&plun;0.2%校驗量程1.2. 穩定性1.2.1. 數字、智能：6個月，&plun;0.1%URL1.2.2. 模擬、線性：6個月，&plun;0.2%URL1.3. 環境溫度影響1.3.1.數字、智能：零點誤差：&plun;0.2%URL/56℃總體誤差：&plun;(0.2%URL+0.18%校驗量程）/56℃1.3.2.模擬、線性零點誤差：&plun;0.5%URL/56℃總體誤差：&plun;(0.5%URL+0.5%校驗量程）/56℃1.4. 振動影響在任意軸向上，200Hz下振動影響為&plun;0.05%URL/g1.5. 電源影響小于&plun;0.005%輸出量程/伏特。1.6. 負載影響：沒有負載影響，除非電源電壓有變化。1.7. 電磁干擾/射頻干擾（EMI/RFI影響）由20至1000MHz，場強達至30V/M時，輸出漂移小于&plun;0.1%量程。1.8. 安裝位置影響零點漂移至多為&plun;0.25kPa。所有的零點漂移都可修正掉；對量程無影響。2. 功能規格2.1. 測量范圍：0-0.125-41370KPa2.2. 零點與量程2.2.1. 數字、智能可用本機量程和零點按鈕調整，或用HART手操器遠程調整2.2.2. 模擬、線性量程和零點連續可調2.3. 零點正、負遷移零點負遷移時，量程下限必須大于或等于-URL；零點正遷移時，量程上限必須小于或等于+URL。校驗量程必須大于或等于最小量程。2.4. 輸出數字、智能：4～20mA DC，用戶可選擇線性或平方根輸出。數字過程變量疊加在4～20mA 信號上，可供采用HART協議的上位機使用模擬、線性：4～20mA DC,與過程壓力成線性。◆選型方式HC1151/3351GP壓力變送器代碼量程范圍KPa20-0.125～1.530-1.3～7.540-6.2～37.450-31.1～186.860-117～69070-345～206880-1170～689090-3450～2068000-6890～41370代碼輸出E4-20mAS智能式代號結構材料法蘭和接頭排氣/排液閥隔離膜片灌充液體22316不銹鋼316不銹鋼316不銹鋼硅油23316不銹鋼316不銹鋼哈氏合金C24316不銹鋼316不銹鋼蒙乃爾25316不銹鋼316不銹鋼鉭33哈氏合金C哈氏合金C哈氏合金C35哈氏合金C哈氏合金C鉭44蒙乃爾蒙乃爾蒙乃爾代號選項M10-100%線性指示表M2LED顯示表M3LCD顯示表B1管裝彎支架B2板裝彎支架B3管裝平支架D1側面泄放閥在壓力室上部D2側面泄放閥在壓力室下部不注1/2NPT錐管螺紋接頭C2丁字形螺紋接頭M20×1.5，帶后部Ф14引壓管的球錐連接頭d隔爆型dⅡBT4i本安型iaⅡCT6s不銹鋼三閥組Midas®用于半導體行業，對該行業過程中的氣體泄漏做出快速且可靠的反應。Midas®具有更長傳感器校準周期、靈活的通信方式以及獲得專利的診斷功能，流量控制特點，這些特點降低了儀器使用成本并提高了儀器的使用效能。 Midas®是一個通用的變送器平臺，能夠探測出大多數的必須在Fab中監測的毒氣、周圍環境的氣體和易燃的氣體。預校準的“即插即用”智能傳感器使傳感器的更換不需要工具并且快速便捷，從而防止了操作員工因使用不正確的或已耗盡的傳感器造成的誤差。明亮的發光二極管燈與直觀的使用圖標的人機交互式菜單與受到密碼保護的配置、測試及校準菜單配套使用使對氣體的讀取或警報級別的緊急警戒有了保證。 Midas®的外觀大小非常小巧，它容易進入的金屬外殼設計使得它在擁擠的、越來越多的復雜工藝環境或翻新應用那種要求空間最佳的安裝變得簡單。Midas®有標配的內置靈活的供電及通信，包括3個內置繼電器、0-22mA模擬輸出、Modbus / TCP以太網數字輸出以及具有創新性的以太網供電（PoE）協議——一個的以太網連接實現所有的供電、控制及通信要求。有了Midas®結構，與PLC及FieldBus系統的低成本整合得到了大大的簡化。 Midas®能夠對在變送器30米（100英尺）以外的點進行監測，并且運用專利控制技術對流量進行自動調節，使傳感器能夠無誤差工作。Honeywell Analytics設計和的先進的自動化線以確保傳感器卓越的質量與可靠性。 Midas®作為革新性的極高的靈敏度低ppb毒氣探測分析儀的Chemcassette的補充產品得到我們全球24/7(每天24小時)服務工程師網絡的支持。特色超過35種可用的氣體，帶兩年的延期質保*（*標準質保為一年）智能的傳感器暗盒腔，帶有內置式“電子校準”證書3個內置繼電器（格式C），用于警報1、2及故障。通過以太網的供電（PoE）通信和供電平臺鍵盤接口及遠程網絡瀏覽器接口熱解器及模擬輸入模塊，可以連接到任何一個變送器密碼保護菜單級別，可以保護系統的完整明亮的LED及直觀的圖標，大型背光式LCD屏幕廠家校準的傳感器減少了頻繁氣體測試的需要絕緣的0-22 mA模擬輸出，帶有故障及事件報告Modbus/TCP以太網，很容易就能夠連接所有控制和警報系統端口，以便進行控制連接和互動式維修采樣泵系統（2年的壽命）取樣距離能達到30m。交互式的培訓模擬器工具有CE的標志，能夠完全免除射頻干擾傳感器自我狀態檢查，用于增進安全TempraSure溫度補償技術（視情形而定）事件日志，可以檢查傳感器歷史紀錄獲得專利的報告技術，確保可能泄漏的氣體以避免誤報警氣體名稱化學式范圍氨NH30-100PPM氫化AsH30-0.2PPM三化硼BCL30-8.0PPM三化硼BF30-8.0PPM三化硼（低濃度的）BF30-2.0PPM溴Br20-0.4PPM二氧化碳CO20-2.0%VOL一氧化碳CO0-100PPMCL20-2.0PPM二氧化CLO20-0.4PPM三化CLF30-0.4PPMB2H60-0.4PPM二甲硅烷H2SICL20-8.0PPM二甲烷CH2F20-120PPM乙硅烷SI2H60-20PPMF20-4.0PPM鍺烷GeH40-0.8PPM六丁二烯F60-40PPM氫（下限）H20-100%LEL氫PPMH20-1000PPM溴化氫HBr0-8.0PPM化氫HCL0-8.0PPM化氫HCN0-20PPM化氫HF0-12PPM化氫（低濃度）HF0-2.0PPM硫化氫H2S0-40PPM硫化氫（高濃度）H2S0-100PPM甲烷（下限）CH40-100%LEL甲基CH3F0-60PPMNO20-12PPM一氧化氮NO0-100PPM三化氮NF30-40PPM八環戊烯C5F80-40PPM氧氣能力&缺氧O20-25%臭氧O30-0.4PPM化氫PH30-1.2PPM氫氧化POCL30-0.4PPM硅烷SIH40-20PPM硅烷（低濃度的）SIH40-2.0PPM二氧化硫SO20-8.0PPM六化硫SF60-8000PPM四化硫SF40-0.4PPM正硅酸乙酯TEOS0-40PPM六化鎢WF60-12PPM六化鎢（低濃度的）WF60-2.0PPM
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