kurt j. lesker company pro line pvd 200 是一種模塊化、功能齊全的薄膜沉積系統,可實現 8 英寸晶圓轉移、多達 8 個濺射陰和 eklipse 高控制軟件。pvd 系列在全球擁有 500 多臺設備,是一種成熟、堅固且多功能的設計,由 pvd 75 和 200 平臺組成。pro line pvd 200 建立在原始設計的成功基礎上,改進了系統基礎壓力和抽空
kurt j. lesker company pvd-batch drum系列由兩種標準尺寸(pvd 200 和 pvd 500)組成,可配置為水平或垂直配置。當顆粒物是一個主要問題時,水平配置優先。水平和垂直配置均可用于 3d 涂層的雙軸旋轉。通過每次運行的沉積面積來衡量的吞吐量范圍從幾百平方英寸到超過 2000 平方英寸,并且還提供更大的定制系統。