德國iplas微波等離子化學(xué)氣相沉積 iplas mpcvd 915mhz系統(tǒng),德國 iplas公司的獨(dú)家利多天線耦合微波等離子技術(shù)(cyrannus®),可在反應(yīng)腔中實(shí)現(xiàn)高的 sp3 鍵轉(zhuǎn)化率,使得腔體中充滿過飽和原子氫和含碳基團(tuán),從而有效地提高了沉積速率并且使得金剛石的沉積質(zhì)量得到改善,這正是獲取優(yōu)質(zhì)金剛石的技術(shù)基礎(chǔ)。
更新時(shí)間:2024-12-24